Contracer CV-1000/2000/3200轮廓测量仪

技术参数
测量范围:X轴：100mm,Z轴：50mm
分辨率:X轴：0.05um,Z轴：0. 2um,精度(20℃时)X轴：±(1+2L/100) um,Z轴：±(3+|2H|/25) um
驱动装置线性度：0.8um/lOOmm
驱动装置垂直位移：250mm
驱动装置倾斜范围：±45°
测头顶部定位：向上/向下
位移方向：向前/向后
测量力：30mN (3gf)
测针追踪角度：向上倾斜77°***向下倾斜87°***
驱动速度轨迹：0. 02~2mm/s，可分七级设置
回缩：5mm/s
定位：0.1~5mm/s可通过控制台手动设置
检出方式：反射线性编码器
数据输出：通过RS-232C接口
操作温度：15℃至25℃
电源供给：100VAC 240VAC