MarSurf XC 20轮廓测量仪

技术参数
扫描长度:（X方向）：0.2mm至200mm
测量范围:（Z方向）：50mm，适用于350mm测臂 25mm，适用于175mm测臂
测量系统:（X方向）：高精度光栅测量系统
测量系统:（Z方向）：电感传感器*高精度，高线性度
测针分辨率:（Z方向）：0.38μm，适用于350mm测臂；,0.19μm，适用于175mm测臂
测量系统分辨率（Z方向）：0.04μm
行程偏差： 行程升角：在光滑表面，取决于表面倾斜程度：向下降低时不超过88°，向上上升时不超过77°
测点距离(X方向)：l.Oμm至8.Oμm
测量速度(X方向):0.2mm/s至4mm/s调整间距O.lmm/s
测臂长度：175mm，350mm
测针半径：25μm