产品详情

MarSurf XCR 20粗糙度轮廓测量仪

技术参数
1、粗糙度技术参数
测量量程:±25,±250,±500 um
粗糙度轮廓分辨率:
垂直方向:50微米量程为0.8纳米,500微米量程为8纳米
分辨率:垂直方向60,000:1 水平方向1 6,000:1
2、轮廓度技术参数:
扫描长度(X方向):0.2mm至200mm
测量范围(Z方向):50mm适用于350mm测臂,25mm适用于175mm测臂
测量系统(X方向):高精度光栅测量系统(出厂经激光干涉仪校准)
测量系统(Z方向):电感传感器*,高精度,高线性度
测量速度(X方向):0.2 mm/s至4 mm/s
定位速度(X方向)及返回速度:0.2 mm/s至8 mm/s
测臂长度175 mm,350 mm
测针半径25 μm