MarSurf UD 120组合式的轮廓和粗糙度测量

一次测量完成粗糙度和轮廓评定
技术参数
测量系统：光学测量系统
行程长度：0.1 mm~120 mm
测头测量范围：10 mm~20 mm（采用双倍长度测臂）
标准测尖：Lda14-10-2，金刚石2μm，90°,Lda 14-10-500，红宝石测球，500 μm
Z向分辨率：2 nm
水平测量轴：光栅
X方向点距：0.05 u m~1 u m
残余误差：35 nm
接触力：0.5 mn~30 mn，可通过软件调节
测量速度：0.5 mm/s~2.0 mm/s，可以0.1mm增量增加，用于轮廓测量≤0.5 mm/s，用于粗糙度测量
返程速度
X方向定位速度：******4 mm/s
接触误差：O.1μm
距离测量显示误差．MPeea：±(1+11100)μm