技术参数: 测量原理:探针测量法 测量范围:±25μm,±250μm,±500μm 轮廓分辨率 分辨率垂直方向:±25μm/0.5nm,±250μm/5nm,±2500μm/50nm 分辨率水平方向:0.07~5μm(按扫描长度而定) 截止波长:0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm 取样长度:1至50(默认值:5) 扫描长度:0.56mm;1.75mm;5.6mm;17.5mm:56mm 测量速度:O.lmm/s和0.5mm/s